디엠에스, 기판의 미세패턴 형성장치 관련 특허 취득

입력 2006-10-10 10:29

박인혜 기자 inhye@e-today.co.kr

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디엠에스는 10일 기판의 미세패턴 형성장치 및 방법과 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.

본 발명은 평판표시장치용 기판의 미세패턴 형성장치에 관한 것으로, 기판 표면의 전처리 작업 및 공정 시간을 대폭 단축시킬 수 있을 뿐만 아니라, 작업 능률 및 공정의 효율성 등을 동시에 얻을 수 있는 기판의 미세패턴 형성장치 및 방법에 관한 것"이라고 설명했다.

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