테스, 박막증착장치 관련 특허권 취득

입력 2014-11-19 15:45

조승예 기자

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테스는 박막증착장치에 관한 특허권을 취득했다고 19일 공시했다.

이 특허는 반도체 ALD(Atomic layer deposition; 원자층 증착)장비에 적용되는 기술이다.

회사 측은 "신제품 개발 적용 및 기존 제품 경쟁력 강화에 활용할 계획"이라고 밝혔다.

#테스 #박막증착장치 #특허권 #테스

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