ASML, 대만 TSMC에 극자외선 노광장비 공급

세계 최대 반도체 장비업체인 네덜란드 ASML이 반도체 파운드리(수탁생산) 업체인 대만 TSMC에 첨단 반도체 미세공정 장비인 극자외선(EUV) 노광장비(NXE:3350B) 2대를 공급한다고 25일 밝혔다.

ASML은 24일(현지시간) 영국 런던에서 개최한 ‘투자자의 날’ 행사에서 이 같은 수주 사실을 공개했다. EUV 노광장비 가격은 대당 1000억∼1500억원을 호가하는 것으로 알려져 있다. 해당 장비는 내년 중 TSMC 생산라인에 설치돼 반도체 양산에 사용될 예정이다.

아울러 기존에 설치된 TSMC의 노광장비(NXE:3300B) 2대도 성능을 최신 제품 수준으로 업그레이드할 계획이다. 노광장비는 빛을 이용해 반도체 회로의 정밀한 밑그림을 그리는 장비다.

ASML은 이날 행사에서 2020년까지의 10억 유로 규모의 순 매출과 세 배의 주당순이익을 달성하겠다는 비전을 함께 제시했다. ASML은 2016년부터 EUV 노광장비의 비용 대비 효과가 개선되면서 반도체 생산 과정이 간결해지고 회로 배선폭이 줄어들 것으로 예상했다.