코미코, 더블 플랫을 갖는 정전척 특허 취득

코미코는 23일 더블 플랫을 갖는 정전척과 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.

코미코 관계자는 "본 발명은 웨이퍼를 척킹하는 정전척(Electrostatic chuck;ESC)에 관한 것으로 보다 구체적으로는 노치타입(notch type) 웨이퍼를 척킹할 수 있는 더블 플랫을 갖는 정전척에 관한 것으로, 노치(Notch) 타입 웨이퍼를 정전력으로 척킹하는 정전척은 2개의 플랫(flat zone)을 가지며 상기 플랫 사이의 거리는 상기 웨이퍼 지름에 대해 최소 96% 최대 96.8%인 것을 특징으로 한다"고 설명했다.