주성엔지니어링, 박막 형성방법 관련 특허 취득

입력 2006-11-14 15:02

박인혜 기자

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주성엔지니어링은 14일 원자층 증착법(Atomic Layer Deposition, 이하 'ALD법')을 이용한 박막 형성방법과 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.

주성엔지니어링 관계자는 "공정 주기를 단축시킬 수 있는 ALD법을 이용한 박막 형성방법에 관한 것"이라고 설명했다.

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