아이피에스, 박막증착장치의 건식세정방법 관련 특허 취득

입력 2006-11-28 12:57

김정화 기자

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아이피에스는 28일 금속 함유막을 증착하는 박막증착장치의 건식세정방법과 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.

아이피에스 관계자는 " 발명은 MO 소스를 이용하여 금속 함유막을 증착하는 박막 증착 장치의 건식 세정 방법에 관한 것이다."라고 설명했다.

이어 "본 발명은 일정한 수량의 웨이퍼를 공정 진행한후 박막 증착 장치의 휴지없이 인시튜 클리닝을 진행할 수 있으므로, 박막 증착 장치의 생산성을 극대화할 수 있다."고 덧붙였다.

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