케이씨텍, 화학기계적 연마용 세리아 슬러리 특허 취득

입력 2006-11-29 15:37

김정화 기자

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케이씨텍은 29일 화학기계적 연마용 세리아 슬러리 및 그 제조방법과 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.

케이씨텍 관계자는 "본 발명은 연마용 세리아 슬러리 제조 방법에 관한 것으로, RPM 변경을 이용한 밀링-공정으로 입자 비율을 조절, 분산안정성을 강화함으로서 마이크로 스크래치를 감소시키면서 동시에 높은 연마율을 유지할 수 있다. "고 설명했다.

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