주성엔지니어, HDP-CVD장치 관련 특허 취득

입력 2006-12-12 17:21

박인혜 기자

기자 이름을 클릭하면
더 자세한 정보를
확인할 수 있어요!

북마크 되었습니다.
마이페이지에서 확인하세요.

가장작게
작게
기본
크게
가장크게

주성엔지니어링은 12일 부도체로 이루어진 샤워헤드를 구비하는 HDP-CVD장치와 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.

주성엔지니어링 관계자는 "이번 발명은 HDP-CVD장치에 관한 것으로서, 부도체로 이루어진 평판형 샤워헤드가 반응챔버의 상부에 수평 설치되기 때문에 갭필링에 있어서 HDP내에 존재하는 양이온들의 수직방향으로의 큰 운동성과 HDP-CVD 특유의 갭필링 특성이라는 두가지 요소가 모두 가미되어 우수한 갭필링 특성을 얻을 수 있다"고 설명했다.

주성엔지니어링(주) (036930)

대표이사: 황철주, 이우경, 황은석(3인 각자대표이사)

이사구성: 이사 7명 / 사외이사 4명

최근공시

[2026.02.05] 주식등의대량보유상황보고서(약식)

[2026.02.02] 임원ㆍ주요주주특정증권등거래계획보고서

좋아요0
화나요0
슬퍼요0
추가취재 원해요0

주요 뉴스

이투데이, 2026년 새해맞이 ‘다음채널·지면 구독’ 특별 이벤트

3월 3일까지… 온라인 채널 구독 및 지면 구독 프로모션 동시 실시추첨 통해 스타벅스 쿠폰 증정 및 1년 구독료 4만 원 할인 혜택 제공 프리미엄 경제신문 이투데이가 2026년 새해를 맞아 독자들의 성원에 보답하기 위한 풍성한 경품 이벤트를 마련했다. 이투데이는 지난달 28일부터 3월 3일까지 온·오프라인 독자를 아우르는 ‘2026 새해맞이 다
K-증시 시총, 독일·대만 추월…글로벌 8위로 '껑충'

국내 증시 시가총액이 독일에 이어 대만까지 제치며 세계 8위권으로 올라섰다. 8일 한국거래소(KRX) 정보데이터시스템에 따르면 지난 6일 종가 기준으로 유가증권시장과 코스닥 시장, 코넥스 시장의 전체 시가총액은 4799조3607억원으로 집계됐다. 이는 같은 날 대만증권거래소가 공시한 6일 종가 기준 대만 주식시장 시가총액(103조6207억9900
시중은행 ‘부실 우려 대출’ 확대…최대 실적에도 건전성 지표 일제히 하락

4대 은행 역대 최대 순익에도 건전성 지표 악화 요주의여신 8조 육박·NPL 비율 5년 내 최고치 시중은행들이 지난해 사상 최대 순이익을 기록하며 외형 성장을 이어갔으나 이면에는 부실 대출 규모가 눈덩이처럼 불어나며 자산 건전성에 비상이 걸렸다. 고금리 장기화와 경기 부진의 골이 깊어지면서 은행의 손실 흡수 능력을 나타내는 건전성 지
쿠팡 주춤한 틈에...G마켓, 3년 만에 1월 거래액 ‘플러스’ 전환

쿠팡이 개인정보 유출 사태로 주춤한 사이 레트로 감성을 앞세운 G마켓이 1020 세대와 이탈 고객을 불러 모으면서 지난달 3년 만에 거래액이 플러스 전환됐다. 8일 이커머스업계에 따르면 G마켓의 지난달 1020 고객 거래액은 전년 동기 대비 33% 증가했다. 3040세대 거래액은 1%, 5060세대는 7% 증가한 것에 비해 가파른 증가다. G마켓 자체 집
“강남 3구 아파트 급매”…서울 매매수급지수 21주 만에 ‘최저’

서울 지수 101.9%⋯2주 연속 하락 정부가 다주택자 양도소득세 중과 유예 조치를 연장하지 않겠다는 방침을 연일 재확인하면서 강남3구(강남·서초·송파구)를 포함한 서울 동남권의 매도자 우위가 다소 약화된 모습이다. 8일 한국부동산원에 따르면 2월 첫째 주(2월 2일 기준) 서울 아파트 매매수급지수는 101.9로, 최근 2주 연속 하락했다. 이는
4분기 실적 시즌 반환점…상장사 10곳 중 6곳 ‘기대치 미달’

지난해 4분기 실적 시즌이 반환점을 돈 가운데, 지금까지 실적을 발표한 상장사 10곳 중 6곳이 시장 기대치를 밑도는 성적표를 받아든 것으로 나타났다. 개별 기업 기준으로는 실적 부진 사례가 우세했지만, 반도체 대형주의 호실적이 전체 실적을 끌어올리는 구조가 이어지고 있다. 8일 에프앤가이드에 따르면 지난 5일까지 증권사 3곳 이상이
서울 2030 무주택 100만 육박 ‘최대’

수도권 청년 25% 자가소유…서울은 18% 그쳐 서울에 거주하는 2030세대 무주택 가구주가 100만 명에 육박하며 역대 최대치를 기록했다. 인천과 경기 지역을 포함한 수도권 전체로 범위를 넓히면 청년 무주택 가구는 약 205만 가구에 달한다. 수도권으로의 인구 집중이 지속되는 가운데, 높은 집값과 제한적인 주택 공급이 맞물리며 청년층의 내
단독 법원 "영화 '소주전쟁' 크레딧에 감독 이름 뺀 건 정당"

법원 "최 씨, 후반작업 참여 안해...제작사, '감독' 명기 의무없어" "'현장연출' 한정한 것은 성명표시권 침해...800만원 지급해야" 시나리오 원조성을 두고 잡음이 일었던 상업영화 ‘소주전쟁’ 크레딧에서 제작사가 당초 감독이었던 최 모 씨의 이름을 뺀 건 정당하다는 법원 판결이 나왔다. 다만 법원은 최 씨를 '현장연출'에 한정한 것은 성