메디아나전자, 발광 다이오드 소자 특허 취득

입력 2006-12-12 17:43

김정화 기자

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메디아나전자는 12일 복합 파장의 광을 발생시키는 발광 다이오드 소자와 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.

메디아나전자 관계자는 "스퍼터링법이나 PLD법에서는 SiO2 또는 SiO에 형광체가 혼합된 물질을 사용하여 스퍼터링 공정 등의 타깃으로 만들어 형광체막을 증착하는데 사용. 형광체 막을 증착시킨 다음에는 상기한 마스크 패턴을 제거함으로써 복합 파장의 광을 발생시키는 LED 소자를 제조한다"고 설명했다.

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