에스엔유, 진공증착시스템 관련 특허 취득

입력 2015-06-29 15:14

문선영 기자 moon@etoday.co.kr

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에스엔유는 마이크로웨이브 가열을 이용한 기화장치 및 이를 구비한 진공증착시스템으로 특허를 취득했다고 29일 밝혔다.

회사측은 "이번 특허를 활용해 한층 정밀한 증착시스템을 운용할 수 있다"고 밝혔다.

#에스엔유

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