SK머티리얼즈, 日 쇼와덴코와 합작법인 설립… 식각가스 사업 진출

▲합작법인 ‘SK쇼와덴코’의 생산설비가 들어설 SK머티리얼즈 경북 영주 공장.(사진제공=SK머티리얼즈)

SK주식회사가 지난해 인수한 반도체 소재 기업 SK머티리얼즈가 일본 쇼와덴코와의 합작법인(JV)을 통해 ‘식각(蝕刻)가스’ 사업에 진출한다.

SK머티리얼즈와 일본 쇼와덴코는 1년 여간의 합작사업 검토를 거쳐 18일 생산∙판매를 위한 합작법인 설립 계약을 체결했다. 합작법인 사명은 SK쇼와덴코로 지분율은 SK머티리얼즈가 51%, 일본 쇼와덴코가 49%다.

초기 투자금액은 210억 원 규모이며 양사는 식각가스 수요 증가에 맞춰 지속적인 증설 투자를 실행할 계획이다.

식각가스란 실리콘 웨이퍼 상의 필요 부분만 남겨두고 나머지 물질을 제거하는 반도체 공정인 식각 과정에 사용되는 특수 가스다. 향후 반도체 미세화 공정 및 3D낸드 확산에 따라 식각가스 수요가 급증할 전망이다. 이 중에서도 SK쇼와덴코가 생산할 CF계 가스는 3D낸드 적층화에 따라 사용량이 빠르게 늘고 있다고 SK머티리얼즈는 설명했다.

업계에 따르면 CF계 식각 가스의 시장규모는 올해 2500억 원 수준으로 일부 제품의 경우 현재 공급 수준을 유지할 때 당장 내년 하반기부터 공급 부족을 겪을 것으로 보인다.

SK머티리얼즈 관계자는 “식각가스 분야 최고 수준의 기술을 가진 쇼와덴코사와의 합작법인을 통해 식각가스 시장 조기 진입이 가능해졌다”고 말했다.

종합 소재기업인 쇼와덴코는 CF계 식각가스 글로벌 1위 기업으로 시총은 2조5000억 원에 달한다. 불소계 특수가스 전 제품 라인업과 원천 기술을 보유하고 있으며 북미∙유럽∙중국 등에 판매망을 보유하고 있다.

합작법인은 경북 영주의 SK머티리얼즈 공장 내에 CH3F(플루오르메탄) 1차 생산설비 20톤을 내년 8월까지 건설 완료하고, C4F6(육불화부타디엔) 등 고부가 CF계 가스 사업도 순차적으로 추진할 계획이다.

향후 3D 낸드 확산에 발맞춰 생산 설비 증설에 나서며 중국 등 글로벌 설비 확장과 다양한 반도체∙디스플레이 소재 사업 추진에도 적극 협력할 방침이다.

SK머티리얼즈는 4월 SK에어가스를 인수해 산업가스 사업에 진입했으며 5월에는 합작법인인 SK트리켐을 설립해 프리커서 분야에도 진출했다.

SK머티리얼즈 관계자는 “향후에도 미국과 일본 등 반도체 소재 선도국 업체들과도 추가적인 사업 협력관계를 구축할 계획”이라고 말했다.