테스, 플라즈마 처리장치 관련 특허권 취득

입력 2017-01-12 14:28

유혜은 기자

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테스는 플라즈마 처리장치 관련 특허권을 취득했다고 12일 공시했다. 회사 측은 "이번 특허는 반도체 장비에 적용되는 기술로, 제품 경쟁력 강화에 활용할 예정"이라고 밝혔다.

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