테스, '실리콘산화막의 선택적 식각 방법' 특허권 취득

입력 2018-08-31 10:45

김우람 기자 hura@etoday.co.kr

기자 이름을 클릭하면
더 자세한 정보를
확인할 수 있어요!

북마크 되었습니다.
마이페이지에서 확인하세요.

가장작게
작게
기본
크게
가장크게

테스는 '실리콘산화막의 선택적 식각 방법' 특허권을 취득했다고 31일 공시했다.

회사측은 "식각 선택비 및 식각량을 현저히 증가시키고, 공정의 단순화 및 공정 재현성에 우수한 장점 있다"며 "장비 제조시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력이 강화에 활용할 계획"이라고 밝혔다.

#테스

좋아요0
화나요0
슬퍼요0
추가취재 원해요0

주요 뉴스

'당원 게시판 논란'에 연일 파열음…與 균열 심화

친윤계 “가족이 맞는지, 아닌지 밝혀라…물어보면 될 일” 친한계 “고발 조치 이뤄지면 실체 드러날 것” 한동훈 “불필요한 자중지란 빠질 일 아냐” 국민의힘의 ‘당원 게시판 논란’이 사그라들 기미를 보이지 않고 있다. 이재명 더불어민주당 대표의 최대 정치적 위기인 ‘위증교사 재판’을 코앞에 두고도 친윤(친윤석열)계는 한동훈 국민의힘 대표
코스닥·나스닥, 20년간 시총 증가율 비슷했지만…지수 상승률은 ‘딴판’

코스닥·나스닥, 시총 증가율 비슷…지수 증가율 2배 vs 9배 원인으로 ‘무더기 신규 상장’, ‘굼뜬 상장 폐지’ 지적 키 맞추기 위해서는 ‘밸류업’ 핵심 중소·벤처 기업 대표 시장인 코스닥의 20년간 시가총액 증가율이 나스닥과 비슷한 수준인 것으로 나타났다. 그러나 같은 기간 나스닥 지수가 9배 상승한 반면, 코스닥 지수 상승률은 2배 수준에
李 열흘만에 또 사법 리스크…두 번째 고비 넘길까

15일 공직선거법 징역 이어 25일 위증교사 1심 재판 野 “국정실패·김여사 방탄” vs 與 “장외 집회 李 방탄” 5개 재판 받게 돼…유·무죄 향후 정국 가를 분수령 이재명 더불어민주당 대표가 열흘 만에 두 번째 사법 리스크를 맞닥트린다. 야권의 예상과 달리 공직선거법 위반 1심에서 징역형을 받은 데 이어 25일에는 더 큰 파고가 예상되는 위증
성장률 적신호 속 '추경 해프닝'…건전재정 기조 흔들?

KDI 2.1→2.0%·IMF 2.2→2.0%…내년 성장률 암운 내수부진에 추경론 대두…대통령실-기재부 혼선도 전반기 대비 확장 재정 가능성…양극화 정책 주목 내수 침체와 트럼프발(發) 수출 불확실성 확대로 우리나라 경제 전망에 암운이 드리웠다. 최근 '연초 추경(추가경정예산)' 여부를 둘러싼 윤석열 정부의 혼선 이면에는 1%대까지 거론되는 내년 성장
민경훈, 뭉클한 결혼식 현장 공개…강호동도 울린 결혼 서약

밴드 버즈 보컬 민경훈의 결혼식 현장이 공개됐다. 23일 방송된 JTBC 예능 프로그램 '아는 형님에서는 민경훈과 신기은 PD의 결혼식 현장이 전파를 탔다. 두 사람은 2018년 '아는 형님'에서 만났으며, 지난해 연말께부터 교제해 부부의 연을 맺게 됐다. 결혼식 당일, 가수 김희철의 사회 멘트에 따라 민경훈이 식장에 발을 디뎠다. 김희철은 "경
[이슈Law] 연달아 터지는 ‘아트테크’ 사기 의혹…이중 구조에 주목

최근 ‘아트테크’(아트+재테크)라 불리는 대형미술품 투자 사기 사건들이 연이어 터지고 있습니다. 청담동 갤러리 사기 사건에 이어 갤러리K 사기 사건까지 미술품이라는 고급 투자 상품의 탈을 쓴 범죄가 진화하는 양상입니다. 이 같은 신종 범죄를 김숙정 변호사(법무법인 LKB & Partners)와 짚어보겠습니다. 예술이 투자 상품으로 변모하는 과
유럽 최대 배터리사 파산 신청에…골드만삭스 9억 달러 날렸다

스웨덴 배터리업체 노스볼트 2대 주주 지분율 19%에서 0%로 낮출 계획 유럽 최대 전기차 배터리 업체인 스웨덴 노스볼트의 파산 신청으로 골드만삭스가 9억 달러(약 1조 원) 가까이를 날리게 됐다고 파이낸셜타임스가 23일(현지시간) 보도했다. 골드만이 운용하는 사모펀드는 노스볼트에 8억9600만 달러를 투자한 2대 주주였다. 골드만은 노스볼
일본, 사도광산 추도식서 “한반도 노동자, 위험하고 가혹한 환경서 노동”

일본 정부대표 야스쿠니신사 참배 이력에 한국 측 불참 25일 별도 추도식 열 예정 일본 정부가 사도광산 추도식에서 한국 노동자들의 고충을 언급했다. 그러나 추도식에 대표로 참석한 정부 관계자의 야스쿠니신사 참배 이력으로 인해 한국 정부와 유가족이 불참하면서 행사는 반쪽짜리로 끝났다. 24일 연합뉴스에 따르면 일본 정부 대표로 참석