테스가 탄소계 액체 전구체 관련 특허권을 취득했다고 26일 공시했다. 이는 반도체 장비에 적용되는 기술이다.
회사 측은 "장비 제조시 특허기술을 적용해 제품경쟁력을 강화할 계획"이라고 설명했다.
테스가 탄소계 액체 전구체 관련 특허권을 취득했다고 26일 공시했다. 이는 반도체 장비에 적용되는 기술이다.
회사 측은 "장비 제조시 특허기술을 적용해 제품경쟁력을 강화할 계획"이라고 설명했다.
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