테스, 반도체 기판검사방법 등 특허 취득

입력 2019-06-13 13:51

이다원 기자

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테스는 반도체에 적용되는 기판검사방법 및 기판처리장치에 관한 특허를 취득했다고 13일 공시했다. 특허 활용 계획에 대해 "장비 제조시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화"라고 밝혔다.

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