테스, 가스공급유닛 관련 특허 취득

입력 2020-05-07 17:45

  • 윤기쁨 기자
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테스는 가스공급유닛 관련 특허권을 취득했다고 7일 공시했다.

회사 측은 "대면적 기판에 대한 각종 처리공정을 수행하는 기판처리장치에 있어서 처리모드에 따라 기판처리장치의 내부로 각종 가스를 공급하는 경우에 가스를 균일하게 기판처리장치의 내부에서 분산시킬 수 있는 가스공급유닛에 대한 것"이라고 밝혔다.

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