오션브릿지, 中 SMIC 투자 수혜 주목…반도체 케미칼 시제품 테스트

오션브릿지가 반도체 소재 국산화를 이끌고 있는 가운데, 중국 최대 반도체 위탁생산 업체 SMIC의 증설 수혜를 기대한다. 오션브린와 SMIC는 반도체 소재의 납품을 위한 파일럿 테스트 및 검증을 진행하고 있다.

18일 회사와 IT업계에 따르면 오션브릿지는 중국 SMIC와 반도체 케미칼 소재인 전구체의 시제품 테스트를 진행하고 있다.

국내 고객사를 통해 기술력은 SK하이닉스를 통해 검증해온 만큼 내부에선 긍정적인 시각을 갖고 있다. 다만 SMIC에서 승인이 나야 되는 만큼 내부에선 결과물을 기다리고 있는 상황이다.

시장 상황은 긍정적이다. SMIC는 중국 정부의 전폭적인 지원을 받아 고속 성장 중이다. 최근 중국 정부의 천문학적인 투자로 반도체 설계 기업이 대폭 늘어나면서, SMIC에 칩 생산을 맡기는 업체도 늘어나고 있다. SMIC는 최근 14나노(nm), 28나노 공정 양산 기술을 도입하는 등 중국 반도체 굴기 중심에 있으며 올해 설비 투자 규모는 67억 달러로 공표한 바 있다. 높은 수준의 반도체 공정 도입이 진행될수록 고부가가치 소재가 대량으로 사용되는 만큼 오션브릿지도 수혜 대상으로 부각될 전망이다.

회사 관계자는 “테스트 시작은 지난해부터 진행했다”며 “SMIC의 품질 승인이 나면 납품할 수 있는 상황이나 아직 결과가 나오진 않았다”고 말했다.

전구체는 반도체 공정 중 화학기상증착(Chemical Vapor Deposition, CVD), 원자층증착

(Atomic Layer Deposition, ALD) 등에 사용되는 케미칼이다.

오션브릿지는 전구체 중 HCDS, TiCl4를 주력 제품으로 생산하고 있다. HCDS(Hexachlorodisilane)는 전구체의 일종이다. 해당 소재는 반도체 소자용 박막증착(CVD/ALD)용 재료로 반도체 DRAM과 NAND 플래시 메모리 생산공정에 절연막·금속 배선 등으로 쓰인다.

TiCl4(사염화티타늄)는 반도체 메모리 소자 제조 시 전자를 보관하는 커패시터의 전극 물질로서 질화티타늄으로 증착돼 확산방지막 역할로 사용된다.

무엇보다 반도체 소자 미세화가 진전되면서 기술적 중요도가 지속적으로 확대되고 있다. 전구체는 반도체 제조에서 매우 중요한 요소 기술 중 하나다. 오션브릿지는 현재 높은 열 안정성을 가진 차세대 고유전율 게이트 절연막을 위한 High-K 전구체를 개발해 복수의 수요처에 적용을 추진 중이다. 또한 HF Gas와 3DMAS 등을 포함한 다양한 전구체 소재를 국산화가 진행 중이며, 중국업체를 비롯한 고객사 다변화 시도가 지속되고 있다.