케이맥, 반도체 전공정 극초박막 분석기기 ‘나노마이스’ 인라인 상용화 추진

케이맥이 극초박막 분석기기 ‘나노마이스(Nano-MEIS)’의 반도체 인라인 상용화를 추진한다.

21일 회사와 업계에 따르면 케이맥은 한국표준과학연구원에 나노마이스 장비를 납품했으며 국제표준(ISO)을 취득할 계획이다.

나노마이스는 극한 미세 영역을 측정해 반도체 웨이퍼 테스트 패턴 분석에 사용할 수 있는 제품이다. 국제표준 인증이 되면 상용화 수출도 가능해진다. 이는 상용화 과정을 위한 전 단계이며, 앞으로 진행되는 반도체 인라인용 개발에 초석이 될 것으로 예상된다.

특히 반도체와 바이오는 그동안 초미세 영역으로 연구 대상을 확대하면서 표면 분석 또는 물질 성분 분석을 위한 초정밀 분석 기기의 필요성이 지속적으로 제기됐다. 회사에 따르면 나노마이스는 반도체 원자층 두께까지 측정할 수 있다. 분석 시간은 기존 장비 대비 95% 까지 단축한다.

기존에 연구용으로 쓰이던 분석기기가 분석에 12~24시간 이상 걸리는데 비해 나노마이스는 분석시간을 30분 이내로 줄였으며, 기기도 대폭 소형화해 상용화를 앞당길 수 있을 것으로 기대된다.

아울러 기본 방식이 웨이퍼를 파괴 분석을 한다면 나노마이스는 비파괴 방식으로 검사를 진행한다. 비파괴 방식이 차세대 방식으로 꼽힌다.

회사 관계자는 “비파괴 방식으로 접근하는 만큼 웨이퍼의 손실이 줄고, 수율 측면에서도 기존 방식을 개선할 것”이라며 “반도체 신규 라인 뿐 만아니라 기존 라인의 교체 수요도 기대한다”꼬 말했다.

나노마이스는 공식적인 답변을 피하고 있지만 반도체 대기업의 인라인 협력도 진행되고 있는 것으로 알려졌다. 현재 내년을 목표로 반도체 인라인용 장비로 나노마이스를 개발 중이며 이르면 2021년, 늦어도 2022년 글로벌 반도체 고객사 납품이 기대된다.

한편 케이맥은 2007년 나노 사이즈의 얇은 미세영역을 더 정교하게 측정할 수 있는 반도체 극초박막 분석기기 '나노마이스(Nano-MEIS)'의 개발에 돌입해 5년 만에 완료했으며 지속적인 제품 업그레이드를 거듭해 왔다.