12인치 반도체 테스트베드 공식서비스…중기 기술 개발 지원

▲나노종합기술원 연구원이 기술원 2층 12인치 테스트베드에서 측정 및 증착 장비를 운영하고 있다. (사진제공=과학기술정보통신부)

정부가 12인치 반도체 테스트베드의 공식 서비스에 나서면서 반도체 분야 중소기업의 기술 개발을 지원한다.

과학기술정보통신부는 국내 최초로 나노종합기술원(종기원)에 12인치 반도체 테스트베드 구축을 완료하고 17일부터 국내 산ㆍ학ㆍ연 이용자에게 공식서비스를 추진한다고 16일 밝혔다.

반도체 생산용 소재ㆍ부품은 2019년 7월 일본의 수출규제에 따라 우리나라에 소재ㆍ부품ㆍ장비(소부장) 기술 자립화에 대한 경각심을 불러일으킨 대표품목이다. 일본 수출규제 이전에도 국내 반도체 소부장 기업들은 대기업 생산환경과 유사한 12인치 테스트베드가 국내에 없어 대기업 납품에 필요한 수준의 평가결과를 획득하는데 많은 애로가 있었다. 대부분 중소기업은 많은 비용과 시간을 들여 해외 테스트베드를 이용하거나, 종기원의 8인치 장비를 활용한 기초평가 수준에서 만족할 수밖에 없는 상황이었다.

이러한 문제를 해결하기 위해 과기정통부는 2019년 8월 종기원을 반도체 소부장 12인치 테스트베드 운영기관으로 지정하고 청정실과 핵심장비 구축, 장비안정화 작업을 추진해 17일부터 공식서비스를 개시하게 됐다. 사업에는 국비 총 450억 원이 투입돼 핵심장비 10대 구축, 공정기술을 개발했다.

향후 국내 반도체 소부장 기업들은 종기원의 12인치 테스트베드를 활용해 반도체 핵심소재 성능 테스트를 신속하게 지원받을 수 있게 돼 반도체 분야 소부장 기술 자립화에 걸리는 시간과 비용을 획기적으로 절감할 것으로 기대된다.

이조원 종기원 원장은 “현재 12인치 테스트베드는 40nm 패턴 웨이퍼 제작이 가능한 인프라로, 반도체 핵심소재(감광제 등)와 장비개발을 집중 지원할 예정”이라며 “향후 20nm급 패턴 웨이퍼 제작과 부품 테스트를 지원할 수 있는 추가 장비구축 및 공정기술 개발을 추진할 계획”이라고 밝혔다.

▲12인치 반도체 테스트베드 장비 및 주요사양. (사진제공=과학기술정보통신부)