삼성전자, 세계 최대 평택반도체 폐수처리 시설 첫 공개… 40년 노하우 집적

캐리비안베이 담수량의 4.7배 규모 폐수 정화 처리

▲삼성전자 평택캠퍼스 그린동 (출처=삼성반도체이야기)

반도체 공정에 사용된 물은 어떻게 처리될까.

'세계 물의 날'(22일)을 앞두고 삼성전자가 40년 이상 이어온 폐수처리 노하우를 집적한 폐수 처리 시설 '평택캠퍼스 그린동'의 모습을 최초로 공개했다. 평택캠퍼스는 삼성전자가 조성 중인 세계 최대 규모의 반도체 생산 시설이다.

21일 삼성전자 반도체 사업부 공식 블로그인 '삼성반도체이야기'를 통해 공개된 그린동은 반도체 제조 과정에서 발생하는 폐수를 깨끗하게 처리해 폐수종말처리장으로 보내는 역할을 한다.

초미세공정을 다루는 반도체 사업장에서 물은 반드시 필요하다. 웨이퍼를 깎고 회로를 새기는 반도체 8대 공정을 수백 차례 반복하는 과정에서 청정도를 확보하기 위해서다. 이 밖에 공정 가스를 정화하는 스크러버, 클린룸의 온ㆍ습도 조절 등에 물이 사용된다.

그린동의 지하 수처리 시설 단면적은 약 3만4000㎡로, 서울월드컵경기장 잔디 구장 면적의 약 3.7배에 달한다.

이곳에서는 하루에 반도체 생산으로 발생한 약 7만 톤의 폐수를 정화한다. 캐리비안베이 하루 담수량(1.5만 톤)의 약 4.7배 규모다.

회사 측은 반도체 공정에서 발생하는 폐수는 성분에 따라 크게 6가지로 나뉘는데, 이중 알칼리성 폐수를 처리하는 과정에서 친환경 공법이 적용된다고 설명했다.

화학약품인 과산화수소 대신 활성탄(Carbon)을 이용해 필터링하는 방식이다. 이는 정수기가 필터링하는 원리와 비슷하다.

또 폐수처리의 핵심 단계인 미생물을 활용해 질소를 제거하는 '유기 처리' 과정은 고위험 약품인 메탄올을 사용하는 대신 '복합 유기탄소원'으로 대체했다.

정화를 마친 물을 고덕 폐수종말처리장까지 방류하는 2.6㎞의 방류관도 별도의 산소 농도 관리와 함께 기계실처럼 도장해 안전한 시설을 구축했다.

폐수 처리에 필요한 약품이 이동하는 배관에는 지하철에 적용되는 '스크린도어'를 설치해 작업자의 안전도를 높였다.

그린동 중앙통제실(CCR)에서는 폐수 정화부터 방류까지 모든 처리 과정을 실시간으로 모니터링한다. 그린동의 자동화율은 97%에 달한다.

삼성전자 관계자는 "평택캠퍼스 그린동은 지난 40여 년간 삼성전자의 폐수처리 기술과 노하우가 집약된 곳"이라며 "반도체 공정에서 발생한 폐수 처리가 '반도체 생산의 마지막 단계'라는 생각으로 각별히 신경 쓰고 있다"고 말했다.