[반도체 초순수] 정부ㆍ기업, 반도체 소재 국산화 속도

불화수소 日의존도 50%→10%…불화폴리이미드 수입은 '제로'

▲▲삼성전자 직원(우)과 이오테크닉스 직원(좌)이 양사가 공동 개발한 반도체 레이저 설비를 함께 살펴보고 있다. (사진출처=삼성반도체이야기)

정부, 올해 소부장에 2.2조 원 투자
삼성전자ㆍSK하이닉스 중기 협업

2019년 7월 일본의 대(對)한국 수출 규제에 당당하게 맞서온 정부와 국내 기업들이 반도체 소재 국산화와 공급망 다변화를 확고히 하기 위해 총력을 쏟고 있다.

일본 정부가 수출 규제를 한 품목은 고순도 불화수소(에칭가스), 극자외선(EUV)용 포토레지스트(반도체·디스플레이용 감광액), 불화폴리이미드로(불소 처리한 폴리이미드 필름) 우리 기업들이 반도체 등을 생산하는 데 있어 필수적인 품목들이다. 이들 품목에 대해 일본 정부가 한국으로의 수출을 제한하기로 하면서 당시 반도체 등 우리 산업의 생태계 전반에 대한 위기감이 고조됐다. 하지만 정부와 우리 기업은 이러한 위기를 소재·부품·장비(이하 소부장)의 대일(對日) 의존도를 줄이기 위한 기회로 삼았다. 2019년 7월부터 민관이 합심해 반도체 소재 국산화 및 공급망 확보에 박차를 가한 결과 3대 품목의 대일 의존도가 크게 낮아졌다. 실제 50%에 육박하던 불화수소의 일본 의존도를 10%대로 낮췄고, 불화폴리이미드는 대체소재 채택으로 일본으로부터의 수입이 사실상 ‘0’으로 전환됐다. EUV 레지스트의 경우 벨기에산 수입 확대로 대일 의존도가 절반 이하로 줄었다.

정부는 올해 반도체 소재 국산화와 공급 안정화를 공고히 하기 위해 3대 핵심품목과 차세대 기술 개발을 위한 연구개발(R&D)에 2조2000억 원을 투자한다. 또 유망 상용소재의 신소재 개발 비용 및 시간 단축을 위한 데이터 활용 플랫폼을 구축하고, 공급망 효율화를 위한 뿌리기업 공동 물류체계(밀크런) 사업도 착수한다. 아울러 100개 으뜸기업 선정, 강소기업 전용 R&D 신설(125억 원), 소부장 전용펀드 신규 조성(약 7000억 원) 등 소부장 산업의 세계 시장 진출을 위한 지원도 강화한다.

반도체 핵심기술을 국가전략기술로 선정해 R&D·시설투자 시 세액 공제율을 대폭 확대한다. 반도체 제조업체인 삼성전자와 SK하이닉스도 힘을 보태고 있다. 삼성전자는 최근 중소 업체 백광산업과 협업으로 고순도 염화수소를 반도체 설비에 실제 적용하는 품질 테스트를 마쳤다. 고순도 염화수소는 웨이퍼에 그려진 반도체 회로만 남기고 불필요한 부분을 부식시켜 깎아내는 식각(蝕刻)액으로 쓰인다. 그동안 일본 등 해외 업체로부터 수입에 의존해 왔다.

삼성전자 관계자는 “단일 국가 의존도를 낮추고 공급처를 다변화했다는데 의미가 있다”고 말했다. 삼성전자는 또 지난해 4월 원익IPS, 테스, 유진테크, PSK 등 국내 주요 설비협력사, 2~3차 부품 협력사와 업무협약(MOU)를 체결하고 설비부품 공동개발을 본격적으로 진행 중이다.

SK하이닉스는 지난해 쎄믹스, 엘케이엔지니어링, 에버텍엔터프라이즈를 4기 기술혁신기업으로 선정했다. 이들 기업은 외국 기업의 점유율이 높은 소부장 분야에서 국산화 경쟁력이 높은 곳이다. 특히 SK하이닉스는 SV(사회적 가치) 창출을 극대화하기 위한 중장기 추진 계획 ‘SV 2030’ 로드맵을 통해 협력회사를 대상으로 한 다양한 지원 프로그램을 운영할 예정이다. SK하이닉스 관계자는 “소부장 국산화로 외산 제품에 의존해야 하는 불확실성을 낮추는 동시에 외국 소재 기업과의 협상에서도 국내 기업이 유리한 지위를 확보할 수 있을 것으로 기대한다”고 밝혔다.