구미시장, SK실트론 초순수 실증플랜트 방문

▲15일 김장호 구미시장(오른쪽 첫번째)이 SK실트론 구미2공장에서 초순수 플랜트 구축 사업에 대한 설명을 듣고 있다. (연합뉴스)

경상북도 구미시가 SK실트론의 초순수 국산화 실증플랜트 구축 사업에 큰 관심을 보이고 있다. 구미시는 정부의 국가첨단전략산업 반도체 특화단지 유치에 총력을 기울이고 있다.

15일 구미시에 따르면 김장호 구미시장 등은 이날 초순수 국산화 정식공급(1단계)을 앞둔 SK실트론의 실증플랜트 구축현장을 방문해 초순수 생산 시설을 확인하고 관계자를 격려했다.

초순수는 반도체 생산 공정에서 기판인 웨이퍼 표면의 이물질을 세척하기 위해 사용되는 용수로 미생물, 전해질, 유기물 등 불순물을 거의 제거하는 극정제화 작업을 거쳐 생산된다. 수돗물 정수 공정(7단계)의 4배에 가까운 25단계 공정을 거쳐 생산된다. 현재 초순수 생산 기술은 일본, 미국, 유럽연합(EU) 등 소수만 보유하고 있다. 삼성전자와 SK하이닉스 반도체 공장 내 초순수 시설은 일본·미국산 장치를 사용 중인 것으로 알려졌다.

SK실트론 구미2공장에 있는 초순수 국산화 실증플랜트 구축 사업은 총 3단계로 진행되며 환경부와 한국수자원공사 주도로 이뤄지고 있다.

1단계 구축이 완료되면 SK실트론은 설계ㆍ시공을 최초로 국산화한 플랜트를 통해 하루에 1200톤의 초순 웨이퍼 공정에 투입한다. 연내에 개발 완료 예정인 국내 장비를 적용해 1200톤의 초순수 국산화 플랜트(2단계)를 추가 구축하고, 플랜트 운영 효율 향상을 위한 디지털 트윈 기반 운영시스템(3단계)을 통해 성능 평가를 완료할 예정이다.

정부는 총 3단계 사업이 완료되면 초순수 공정의 최대 60%를 국산화할 것으로 기대했다.

김 시장은 “구미에서 시작한 초순수 국산화는 대한민국 반도체 소재부품 공급망 안정화와 자립화에 도화선 역할을 할 것”이라며 “반도체 소재부품산업 경쟁력 강화를 위해 구미 반도체특화단지 지정이 꼭 필요하다”고 지지를 요청했다.