주성엔지니어링, 플라즈마 감지장치 특허 취득

입력 2009-05-20 14:03

최영희 기자

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주성엔지니어링은 20일 플라즈마 감지장치에 대한 특허를 취득했다고 공시했다.

회사측은 "이번 특허 기술은 웨이퍼와 동일한 관점에서 플라즈마의 이상유무를 감지할 수 있고, 동일한 시간에 모든 탐침을 통해 챔버 내부의 플라즈마 이상유무를 실시간으로 감지하는 것이 가능하다."고 밝혔다.

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