[특징주] 파크시스템스, 삼성전자와 '차세대 반도체 나노 탐침 소자' 개발 성공..."기존 분자 접합 한계점 뛰어넘어"

삼성전자, 성균관대 등과 차세대 반도체 나노 탐침 소자를 개발한 파크시스템스가 상승세다. 이번 소자 개발로 기존 분자 접합의 구조적인 한계점을 뛰어넘었다는 평가다.

11일 파크시스템스는 전 거래일 대비 2.22% 오른 15만6300원에 거래 중이다.

이날 성균관대 연구팀에 따르면 성균관대학교는 기계공학부 김태성 교수 연구팀, 삼성전자 AVP 공정개발팀, 파크시스템스 R&D센터 공동연구진이 원격 터널링 기반 ‘차세대 나노 탐침 소자’를 개발했다.

차세대 반도체 소자 후보인 분자 전자소자(Molecular electronics)는 나노미터(nm) 스케일의 매우 작은 분자를 기반으로 전자소자의 핵심 구성요소로 사용하는 방식으로, 반도체 고집적화의 물리적 한계를 극복할 기술로 관심받고 있다.

연구팀은 원자력 힘 현미경(Atomic Force Microscopy)을 기반으로 자가 조립 단분자막 위로 나노 탐침을 위치시킨 뒤, 5nm의 간격을 통해 터널링 접합을 구성하여 금속-유기물 계면에서 계면 전하 이동 및 전자 터널링의 원격 능동 제어와 동시에 고해상도(Sub-10nm resolution) 이미징에 성공했다.

또한, 연구진은 실험적으로 관측한 계면 터널링 현상의 이질성을 밀도 범 함수 이론(Density functional theory, DFT) 시뮬레이션을 통해 이론적으로도 검증했다.

김태성 교수는 “기존 분자 접합의 구조적인 한계점을 뛰어넘으며, 금속-유기물 계면의 전자 이동을 소자의 구조적 관점에서 바라볼 수 있는 연구로, 향후 반도체 초미세 공정에서 계면 및 표면의 전기·화학적 특성을 정확하게 제어 및 관측하여 반도체 소자 성능 향상에 크게 기여할 수 있을 것”이라고 밝혔다.

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