티씨케이는 솔라셀용 PECVD 제조 공정 중 아킹(arcing) 방지를 위한 세라믹코팅 방법에 대해 국내특허를 취득했다고 7일 공시했다.
회사 측은 향후 솔라셀 제조용 서셉터 사업분야 확장을 위해 활용할 계획이라고 밝혔다.
입력 2011-09-07 09:36
티씨케이는 솔라셀용 PECVD 제조 공정 중 아킹(arcing) 방지를 위한 세라믹코팅 방법에 대해 국내특허를 취득했다고 7일 공시했다.
회사 측은 향후 솔라셀 제조용 서셉터 사업분야 확장을 위해 활용할 계획이라고 밝혔다.
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