[공시]원익IPS, 샤워헤드 및 기판처리장치 특허권 취득

입력 2011-10-10 14:29

이재현 기자 nfs0118@etoday.co.kr

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원익IPS는 10일 샤워헤드 및 이를 이용한 기판처리장치에 대한 특허권을 취득했다고 공시했다.

회사측은 “반도체 제조 장치 내부를 세정하기 위한 세정가스 공급수단에 대한 특허권”이라며 “향후 생산성을 높이기 위해 반도체 장비에 적용할 예정”이라고 말했다.

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