[공시]테스, 진공증착장치 관련 특허 취득

입력 2011-10-18 13:46

김지호 기자 jh@etoday.co.kr

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테스는 18일 유기발광다이오드(OLED) 대면적 제조장치 관련 특허를 취득했다고 밝혔다.

회사 측은 진공챔버 상부에 장착된 기판을 향해 히터모듈의 각도를 간단하게 조절할 수 있어 대면적의 기판인 경우에도 증착장치를 대형화하지 않고도 균일한 막을 형성할 수 있는 특허라고 설명했다.

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