테스, 실리콘 산화막 건식 식각방법 특허취득

입력 2012-05-08 13:51

김지영 기자

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테스는 8일 실리콘 산화막을 매우 빠른 속도로 식각할 수 있는 실리콘 산화막 건식 식각방법 특허권을 취득했다고 공시했다.

회사측은 이번 특허를 이용해 제품 경쟁력을 강화할 것이라고 밝혔다.

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