참엔지니어링, 박막 패터닝 장치 특허권 취득

입력 2012-11-22 13:29

김혜진 기자

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참엔지니어링은 박막 패터닝 장치에 대한 특허권을 취득했다고 22일 공시했다.

회사 측은 본 특허권에 대해 “기판에 형성성된 박막에 패터닝시 박막이 손상되는 것을 방지해 박막 패터닝 공정의 신뢰성을 향상시킬 수 있다”며 “이를 활용해 평판디스플레이 장비의 경쟁력을 강화시킬 것”이라고 밝혔다.

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