테스, 비정질 탄소박막 증착방법 특허 취득

입력 2014-04-16 13:57

이미정 기자 lmj@etoday.co.kr

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테스는 비정질 탄소박막 증착방법 관련 특허를 취득했다고 16일 공시했다.

회사 측은 “비정질 탄소박막의 결합력이 극대화돼 증착하는 경우에 막의 증착을 용이하게 할 수 있다”며 “막의 박리가 없는 안정화된 고품질의 비정질 탄소박막을 얻을 수 있다”고 말했다.

#테스 #비정질 #탄소박막 #증착방법 #특허 #테스

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