에스엔유프리시젼, 태양전지용 박막 급속 열처리 시스템 특허 취득

입력 2014-05-28 17:36

김유진 기자 eugene@etoday.co.kr

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에스엔유프리시젼은 태양 전지용 박막 급속 열처리 시스템에 대한 특허권을 취득했다고 28일 공시했다. 이는 태양 전지용 박막패널 제조시 급속 열처리 공정시 낭비되는 반응가스를 최소화시키는 시스템에 관한 특허다.

#에스엔유

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