주성엔지니어링, 웨이퍼 온도 보상기 관련 특허 취득

입력 2006-09-05 13:20

김정화 기자

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주성엔지니어링은 5일 반사기를 이용한 웨이퍼 온도 보상기 관련 특허를 취득했다고 밝혔다.

주성엔지니어링 관계자는 "이번 발명은 반도체 소자의 제조장치에 관한 것으로서, 특히 공정챔버 내부에 위치하는 서셉터의 상부에 설치되는 웨이퍼 온도 보상기에 관한 것"이라고 설명했다.

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