100% 수입에 의존하던 반도체 세정 공정용 나노(nm)급 필터의 자립 생산이 시작된다.
산업통상자원부는 이승렬 산업정책실장이 17일 나노급 필터 생산 기업인 시노펙스의 동탄 공장 신규 생산 라인 준공식에 참석했다고 밝혔다.
산업부에 따르면 나노급 필터는 반도체 세정용 화학 물질의 불순물을 정제하기 위한 필터로, 필터 성능이 반도체 수율과 직결된다.
시노펙스가 멜트블론(MB, Melt-Blown) 부직포 생산설비 증설로 마스크필터 등 에어필터분야로 사업 영역 확대에 나선다.
시노펙스는 멜트블론 방식의 액체여과용 필터 용융방사기술을 기반으로 2018년부터 나노급 필터를 공급하고 있다.
회사 관계자는 24일 “전량 수입에 의존할 수밖에 없던 고급 헤파필터를 대체해 국산화하는 것을 목표로 기술개발