전구체는 반도체 공정 중 화학기상증착(Chemical Vapor Deposition, CVD), 원자층증착
(Atomic Layer Deposition, ALD) 등에 사용되는 케미칼이다.
오션브릿지는 전구체 중 HCDS, TiCl4를 주력 제품으로 생산하고 있다. HCDS(Hexachlorodisilane)는 전구체의 일종이다. 해당 소재는 반도체 소자용 박막증착(CVD/ALD)용 재료로 반도체 DRAM과 NAND 플래시 메모리 생산공정에 절연막...
2020-08-18 10:05