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△한국조선해양 "현대중공업, 올해 매출액 9조2813억 원 전망"
△현대미포조선 "올해 매출액 3조 원 달성 전망"
△현대중공업지주
테스는 '가스공급부 및 이를 구비한 박막증착장치' 특허권을 취득했다고 9일 공시했다.
회사측은 "혼합가스의 집중 현상을 방지하고 기판을 향해 고루 분사해 공급할 수 있어 균일한 증착막을 형성하는데 기여하여 증착 효율성을 향상시켰다"며 "관련 기술을 반도체 장비에 적용하고 R&D활동에도 응용해 제품경쟁력 강화에 활용할 계획"이라고 밝혔다.
테스는 박막증착장치 관련 특허권을 취득했다고 19일 공시했다. 이 특허는 디스플레이(OLED) 장비에 적용되는 기술이다.
회사 측은 "공정 수행 시 공정가스에 의해 챔버 내부 증착 공간의 하부 등에 파우더가 쌓이는 것을 방지할 수 있고 발생을 억제할 수 있어 증착효율성이 개선된다"고 설명했다.
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